半導体工学
半導体工学(はんどうたいこうがく)は、半導体素子の設計・製造、寿命などの性能評価、半導体を利用した計測などを取り扱う工学である。
設計
回路設計 設計の検証(シミュレーション) 製造用機器の設計
製造技術
拡散・酸化 CVD PVD イオン注入 パターニング エッチング メタライズ(配線) 製造時の欠陥検出 ダイシング パッケージング(組立)
性能評価
寿命 信頼性
半導体を利用した計測
ホール効果
関連項目
半導体 半導体素子 集積回路
外部リンク
財団法人 新機能素子研究開発協会 社団法人 日本半導体製造装置協会
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