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半導体工学

半導体工学(はんどうたいこうがく)は、半導体素子の設計・製造、寿命などの性能評価、半導体を利用した計測などを取り扱う工学である。

設計

• 回路設計 • 設計の検証(シミュレーション) • 製造用機器の設計

製造技術

• 拡散・酸化CVDPVD • イオン注入 • パターニング • エッチング • メタライズ(配線) • 製造時の欠陥検出 • ダイシング • パッケージング(組立)

性能評価

• 寿命 • 信頼性

半導体を利用した計測

ホール効果

関連項目

半導体半導体素子集積回路

外部リンク

財団法人 新機能素子研究開発協会社団法人 日本半導体製造装置協会

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